角度是光学角度

hurrySCAN ®II

hurrySCAN ®

入光孔径

7 mm

10 mm

14 mm

10 mm

20 mm

25 mm

30 mm

光学特性

X轴典型扫描角度

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.26 rad

±0.35 rad

Y轴典型扫描角度

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.35 rad

±0.40 rad

±0.35 rad

扫描范围（椭圆）

-

-

-

-

-

80 x 130 mm2

-

扫描范围（圆形）

110x110 mm2

110 x 110 mm2

90 x 90 mm2

110 x 110 mm2

90 x 90 mm2

75 x 75 mm2

50 x 50 mm2

线性度

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

动态特性

跟踪误差

0.11 ms

0.14 ms

0.24 ms

0.18 ms

0.35 ms

0.50 ms

0.55 ms

长时间漂移（8小时）

< 0.3 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

< 0.6 mrad

阶跃时间

1 % F.S

0.23 ms

0.25 ms

0.40 ms

0.35 ms

0.80 ms

0.90 ms

1.20 ms

10 %F.S

-

-

1.60 ms

0.90 ms

2.50 ms

3.20 ms

4.50 ms

速度

标刻速度

3.5 m/s

2.5 m/s

1.5 m/s

2.0 m/s

1.0 m/s

0.8 m/s

0.7 m/s

定位速度

15.0 m/s

10.0 m/s

7.0 m/s

7.0 m/s

6.0 m/s

5.0 m/s

3.0 m/s

写入速度

好品质写入速度

1100 cps

800 cps

500 cps

640 cps

320 cps

260 cps

220 cps

高品质写入速度

800 cps

500 cps

340 cps

400 cps

210 cps

170 cps

150 cps

重量（不带物镜时）

3 kg (6)

3 kg (6)

3 kg (6)

3 kg (6)

5.8 kg

5.8 kg

5.8 kg

型号参数所有的角度都是光学角度

hurrySCAN ®III

入光孔径

10 mm

14 mm

光学特性

X轴典型扫描角度

±0.35 rad

±0.35 rad

Y轴典型扫描角度

±0.35 rad

±0.35 rad

扫描范围（椭圆）

-

-

扫描范围（圆形）

110 x 110 mm2

90 x 90 mm2

线性度

< 3.5 mrad

< 3.5 mrad

动态特性

跟踪误差

0.12 ms

0.18 ms

长时间漂移（8小时）

漂移

< 100 μrad

< 100 μrad

增益

< 100 ppm

< 100 ppm

长时间漂移（24小时）

漂移

< 100 μrad

< 100 μrad

增益

< 100 ppm

< 100 ppm

温度漂移

漂移

< 15 μrad/K

< 15 μrad/K

增益

< 25 ppm/K

< 25 ppm/K

阶跃时间

1 % F.S

0.35 ms

0.35 ms

10 %F.S

1.7 ms

1.2 ms

速度

标刻速度

3.0 m/s

2.0 m/s

定位速度

12.0 m/s

12.0 m/s

写入速度

好品质写入速度

1000 cps

660 cps

高品质写入速度

700 cps

410 cps

重量（不带物镜时）

3 kg

3 kg