高精度快速压电陶瓷偏摆镜

高动态，带大偏转角用于反射镜和光学元件

S-330

分辨率达20纳弧度

优异的位置稳定性

光束偏转达20毫弧度（>1度）

并联运动实现更高精度和动态和全桥应 变片传感器

亚微秒级响应时间

用于直径长达50 毫米的反射镜

应用领域

图像处理/稳定

光学捕获

激光扫描/光束偏转

激光调谐

光学过滤器/开关

光学

激光束稳定

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对振动和冲击不敏感。 它们真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub- D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有*小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动 态和精密的运动。